平台大小(mm):350 x 350 x 109
最大行程(mm):±10
螺桿導程(mm):2
E級 (10μm)
反覆定位精度:H級 (6μm)
P級 (2μm)
動負荷(kg):50
靜負荷(kg):200
極限開關:EX674
步進馬達:42框
伺服馬達:100W
表面處理:黑色陽極
平台重量(kg):23
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